1.性能参数
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ITEM # |
COATING |
M |
WD |
EFL |
NA |
TFS |
EA |
L |
SPOT SIZE |
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XWJ-40X-UV |
UV |
40× |
1.5mm |
4.4mm |
0.6 |
1μm |
5.3mm |
43.5mm |
1μm |
注：有限远共轭
2.外形尺寸
3.成像质量测试报告
4.检测结果
4.1焦距测量
焦距测量的测试波长为绿光（540nm），该波长下的显微物镜焦距为5.6mm ，实测焦距为5.3mm
4.3 透过率测量
陪镀片的剩余反射率曲线
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利用陪镀片进行测量，陪镀片厚度：8mm；
-
结果：内透过率 ：99.6%；零件透过率：98.4% ；单面透过率：99.485%
-
整体透过率为94%（193nm处）。
4.2像质检测
a) 显微物镜对目标（小孔）所成的像
b)能量集中度曲线
c) 点扩散函数
5. 实物照片
